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分子泵机组的用途

2022.06.22

分子泵机组应用领域很广，主要应用在太阳能光伏、LOW-E玻璃、半导体制造、真空检漏、真空镀膜、制灯、光盘、分析仪器、建筑、环保、科技研发等诸多行业配置上。

分子泵机组是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级罗茨泵在排给机械泵抽走的一套真空机组。尤其是分子泵为主泵，作为超高真空领域的真空获取设备，因其启动快、能耗低、运转寿命长、可靠性高、可获得完全无油的清洁真空等特点，近年在真空技术应用领域逐渐普及。 

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